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CVD金刚石
CVD diamond

产品概述

CVD金刚石即化学气相沉积金刚石(也称作CVD金刚石膜) ,是继高温高压金刚石后,人工合成金刚石领域的又一次具有重大意义的革命。尺寸可以很大,目前能够批量生产的产品规格已达直径120MM,厚2MM,而且结晶质可以和天然LLA型金刚石媲美。CVD金刚石是在低气压条件下,CH4, C3H8等含碳气体经高温分解。

CVD金刚石高功率半导体热管理解决方案

金刚石的热学性质表现于金刚石的热导率极高,室温下它的导热率为1000~2000w/m.k,是铜材料的3~5倍,比目前使用的氮化铝、Cu-W合金、氧化铝、氧化铍等材料的热导率高很多,仅次于天然lla型和高压合成的Ib高质量单晶。且热膨胀系数很小,又是非常好的绝缘材料,因此,CVD金刚石目前在高功率半导体热管理中具有无可替代的优势,高功率激光二极管和MCMs(多芯片三维组装技术)是当前CVD金刚石膜热学应用的两个主要应用领域。

CVD金刚石用途

用在单点金刚石修整工具,多点金刚石修整工具,金刚石修整滚轮;用于棕刚玉和碳化硅砂轮,金刚石砂轮和CBN陶瓷结合剂砂轮的修整。

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